La contamination particulaire, métallique et moléculaire en microélectronique

Introduction

L'industrie microélectronique, forte de près de cinquante années d'existence, peut être considérée aujourd'hui comme une industrie mature, dont on peut apprécier l'évolution et analyser les progressions. En l'occurrence, la conduite d'un exercice de cette nature permet d'observer que le développement de cette industrie a continûment été accompagné par la prise en compte d'un sujet secondaire, eu égard aux objectifs propres de la microélectronique, mais néanmoins indispensable et incontournable : la contamination. En effet la contamination est à l'origine de nombreux phénomènes affectant l'industrie microélectronique dans ses différents secteurs.

Photo 1 : Particule contaminante sur des lignes de résineCes phénomènes peuvent avoir des impacts économiques directs très importants pour les sites industriels fabriquant ces dispositifs (des événements de contamination sont régulièrement à l'origine de la paralysie entière de lignes de production). Mais le poids économique de cette problématique dépasse le seul niveau de la fabrication ; il est à considérer de manière beaucoup plus large eu égard au très grand nombre d'acteurs et de sous-ensembles que cette industrie met en action (conception et réalisation de salles propres, fabrication des équipements, approvisionnement en fluides, produits chimiques, tenues…) et les richesses dont l'ensemble de ce secteur est générateur.

Ces impacts font qu'aujourd'hui, la contamination est un élément à part entière de la fabrication d'un dispositif microélectronique, pris en compte dès la conception d'un nouveau dispositif comme dans celle d'un nouveau centre de production.

Les différentes formes de contamination

Qu'appelle-t-on aujourd'hui contamination en microélectronique ? Tout élément allogène susceptible de dégrader un dispositif microélectronique est la réponse naturelle que l'on entendra fréquemment dans cette communauté. Cette réponse, qui pourrait s'apparenter à une boutade, correspond cependant à la réalité de l'ampleur du domaine auquel doit être associé ce terme.

Plus en détail, la contamination revêt en effet une étendue très variée d'espèces …